几分钟之后……
“这……”梁志远有些不敢相信的看着眼前的光源系统,“这好像是极紫外光源系统!”
怎么可能,他明明没有带任何的材料进去生产车间,怎么会凭空更换了光刻机的光源系统呢?
这个极紫外光源系统是怎么来的?
想到这,梁志远对着周围的人喊道:“快快快,你们也检查一下这个光源系统!”
刚才向他汇报情况的研究人员答道:“梁总,刚才我们仔细检查过了,好像真的是13.5纳米的极紫外光。”
如果刚才梁志远还有点不相信的话,现在他内心直接凌乱了!
“不可能,不可能!”
说完,他又去检查了光刻机的其他零部件,还有光刻机外的显影、蚀刻等设备,发现都和原来不一样了。
以他几十年的半导体从事经验来看,这就是一台货真价实的第五代EUV光刻机。
确定了这一信息之后,梁志远也不在乎周围人的目光,直接瘫坐在地上,口中还喃喃自语:“这不符合科学常识,这不符合科学常识……”
……
此时,已经接到汇报的任总、中心国际董事长也及时赶到生产车间内,他们刚才一直在办公室内休息,并未守在车间外。
俩人看到瘫坐在地上、已经有些不正常的梁志远,心里已经大概有底了,但还是向现场的研究人员确认:
“检查清楚了吗?这是不是第五代光刻机?”
有研究人员回答:“虽然不能百分之百确定,但大概率就是了!”
任总和中心国际的董事长大喜,“快快快,重新调试光刻机,以最快的时间恢复生产。”
“好的,两位老总!”
“如果恢复生产的话,使用这台EUV光刻机,麒麟9000S的成本能下降多少?”这句话是任总问的,成本问题此前一直困扰着华威。
“这个要看最终的良品率,如果能达到70%的话,因为生产工序减少,成本应该是原来的50%。”
“好好好!”任总连声称赞,他身后的华威工作人员甚至直接欢呼起来。
大家都知道这对于华威有多重要。
不过在欢喜之余,大家终于想到带来这一切的功臣——杨晨。
在两位老总的带领下,众人又走出生产车间,来到杨晨面前。